سیستم‌های میکروالکترومکانیک Microelectromechanical Systems (MEMS) حسگرها و فعال‌کننده‌ها بسیار کوچک و مینیاتوری هستند که با استفاده از تکنولوژی سیستم‌های انتگرالی بسیار بزرگ Very Large System Integration (VLSI) به وجود آمده‌اند. پیشرفت‌های حاصل شده در تکنولوژی MEMS باعث کاهش شدید در اندازه، مصرف انرژی، و هزینه‌ی شبکه‌های بی سیم شده است. اندازه‌ی کوچک آنها این اجازه را داده که در جاهایی که حسگرها و فعال کننده‌های معمول قابلیت استفاده نداشته باشند، جایگزین شده و در کاربری‌ها استفاده شوند. همچنین به علت تفاوت در تولید نسبت به چیپ‌های معمول، توانایی تولید انبوه را داشته؛ بنابراین هزینه را تا حد بسیار زیادی کاهش داده است. دلیل دیگر اقتصادی شدن استفاده از این تکنولوژی، به کار گیری آن در صنعت خودرو سازی و صنایع هوایی و دیگر رشته‌ها مانند پزشکی است که با افزایش مصرف، هزینه‌ی تولید کاهش یافته است. مزیت قابل توجه دیگر این تکنولوژی، مصرف انرژِی بسیار اندک آنها است و چیزی در حدود 40μW تا 500μW می‌باشد. مصالح سازنده‌ی این حسگرها، سیلیکن، پلیمرها، فلزات و کاغذ می‌باشد. سیلیسیوم یک ماده‌ی مناسب برای ساخت MEMS است، زیرا این ماده دارای خواص فیزیکی و مکانیکی خوب برای ماشین‌کاری است. همچنین سیلیکن ارزان قیمت و به وفور در معادن یافت می‌شود. مشخصات مفید این وسیله‌ها باعث شده است که MEMS یک تکنولوژی پیروز در حوزه‌های کاربردی شامل شتاب سنج‌ها، حسگرهای فشار، میکرواپتیک و غیره باشد. هم اکنون در سال 2014، ارزش معاملات صورت گرفته در این زمینه، بالغ بر 550 میلیون دلار می‌باشد.
MEMSها دارای سه قسمت اصلی هستند. حسگر (وظیفه‌ی اندازه‌گیری کمیت)، مبدل سیگنال (تبدیل سیگنال اندازه‌گیری شده به انواع دیگر)، و فعال کننده (اعمال تحریک از طریق تبدیل سیگنال الکتریکی به نیرو در صورت نیاز یا حالت فعال).
بایستی به این نکته اشاره کرد که قابلیت اطمینان و دقت اندازه‌گیری این حسگرها، مشکلی است که باید در پروژه‌های پایش سلامت سازه، مورد توجه قرار گیرند. با وجود این‌که تکنولوژی MEMS برای پایش سلامت در اعضا و قسمت‌های محدودی از سازه برای تشخیص آغاز ترک و یا گسترش آن، و یا خوردگی بسیار کاربردی و مؤثر است، استفاده از آن در تعداد زیاد برای کل سازه و در عین حال اقتصادی شدن آن، مسأله‌ای پیچیده است؛ با این وجود تکنولوژی MEMS هنوز بهترین گزینه برای عملیاتی ساختن این پروژه‌ها است.
